目前，国内半导体晶圆扩散设备用纯度为99.999~99.9999%的碳化硅悬臂桨、炉管及舟完全依赖进口，全款订货需要24-36个月的交付周期，随着 国 家对半导体行业自主可控战略的实施，寻求国产替代已迫在眉睫。
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