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产品介绍：碳化硅舟(光伏级)结构稳定，材料热稳定性能好，高温使用不变形，(半导体级)材料纯度高，具有高纯度基体和碳化硅薄膜，避免了杂质引入，减少了工艺制程中对设备环境的污染，有效提高产品品质。
主要特点：
碳化硅舟(光伏级)结构稳定，材料热稳定性能好，高温使用不变形，(半导体级)材料纯度高，具有高纯度基体和碳化硅薄膜，避免了杂质引入，减少了工艺制程中对设备环境的污染，有效提高产品品质。
应用范围：
适用于光伏设备、半导体设备中晶圆的关键承载部件。
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